Mètode de selecció de bombes de buit
A l'hora de triar una bomba de buit, heu de prestar atenció als assumptes següents:
1. La pressió de treball de la bomba de buit ha de satisfer els requisits finals de buit i pressió de treball de l'equip de buit. Per exemple, el recobriment al buit requereix un grau de buit de 110-5mmHg, i el grau de buit de la bomba de buit seleccionada ha de ser com a mínim de 510-6mmHg. Normalment, el grau de buit de la bomba es selecciona per ser la meitat a un ordre de magnitud superior al grau de buit de l'equip de buit.
2. Seleccioneu correctament el punt de treball de la bomba de buit. Cada bomba té un cert rang de pressió de treball, com ara: la bomba de difusió és de 10-3 ~ 10-7mmHg, en un rang de pressió tan ampli, la velocitat de bombament de la bomba canvia amb la pressió i el seu rang de pressió de treball estable és de 510-4 ~ 510-6mmHg. Per tant, el punt de treball de la bomba s'ha de seleccionar dins d'aquest rang i no es pot permetre que funcioni durant molt de temps per sota de 10-8 mmHg. Un altre exemple és que la bomba de sublimació de titani pot funcionar per sota de 10-2mmHg, però la seva pressió de treball ha de ser inferior a 110-5mmHg.
3. Sota la seva pressió de treball, la bomba de buit ha de ser capaç d'eliminar tot el gas generat en el procés de l'equip de buit. 4. Combineu correctament la bomba de buit. A causa del bombament selectiu de bombes de buit, de vegades un tipus de bomba no pot satisfer els requisits de bombament, i cal combinar diverses bombes per complementar-se entre si per satisfer els requisits de bombament. Per exemple, la bomba de sublimació de titani té una alta velocitat de bombament per a l'hidrogen, però no pot bombar heli, mentre que la bomba d'ió de polvorització de tres pols (o la bomba d'ió càtode asimètric de dos pols) té una certa velocitat de bombament per a l'argó. Combinat, el dispositiu de buit obtindrà un millor grau de buit. A més, algunes bombes de buit no poden funcionar sota pressió atmosfèrica i requereixen pre-buit; algunes bombes de buit tenen una pressió de sortida inferior a la pressió atmosfèrica i requereixen una bomba de front, de manera que totes s'han d'utilitzar en combinació.
5. Requisits per a la contaminació del petroli dels equips de buit. Si l'equip està estrictament obligat a estar lliure d'oli, s'han de seleccionar diverses bombes sense oli, com ara: bomba d'anell d'aigua, bomba d'adsorció de tamís molecular, bomba d'ió de polvorització, bomba criogènica, etc. Si els requisits no són estrictes, podeu triar una bomba d'oli, a més d'algunes mesures de contaminació contra el petroli, com ara afegir trampes fredes, deflflets, trampes d'oli, etc., també poden satisfer els requisits de buit net.
6. Entendre la composició del gas bombat, si el gas conté vapor condensable, si hi ha pols de partícula, si és corrosiu, etc. A l'hora de triar una bomba de buit, heu de conèixer la composició del gas i seleccionar la bomba corresponent per al gas a bombar. Si el gas conté vapor, partícules i gasos corrosius, s'ha de considerar que instal·la equips auxiliars com condensadors, col·lectors de pols, etc. a la canonada d'entrada de la bomba.
7. Com afecta el vapor d'oli descarregat de la bomba de buit al medi ambient? Si el medi ambient no permet la contaminació, podeu triar una bomba de buit lliure d'oli o descarregar el vapor d'oli a l'exterior.
8. Si la vibració generada per la bomba de buit té alguna influència en el procés i l'entorn. Si el procés no ho permet, trieu una bomba sense vibració o preneu mesures antivibratori.
9. El preu, operació i cost de manteniment de la bomba de buit.